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產(chǎn)品中心光學(xué)測(cè)量?jī)x器干涉儀/標(biāo)準(zhǔn)具Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測(cè)量0.6米工件 觸摸屏操作)
Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1秒測(cè)量0.6米工件 觸摸屏操作)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組成要素 | 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池 |
面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。
VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷處的振動(dòng)免疫） 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十 分精密的環(huán)境下工作"的認(rèn)知。
30 納米 jue對(duì)精度,1nm重復(fù)精度
0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測(cè)量
表面形貌 3D 成像
全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測(cè)量軟件,現(xiàn)已支持Windows11
自動(dòng)調(diào)平選件,讓全自動(dòng)測(cè)量成為現(xiàn)實(shí)
成盤(pán)測(cè)量選件 實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程控制
一臺(tái)機(jī)器可測(cè)量多種工件 通過(guò)更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…
能夠測(cè)量的工件
直徑 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三維成像
'
通過(guò)光路擴(kuò)展, 測(cè)量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通過(guò)CGH補(bǔ)償器, 測(cè)量復(fù)雜曲面
黑色或透明工件, 仍然能夠測(cè)量
適合半導(dǎo)體應(yīng)用的MST(多表面測(cè)量) 一次采集, 同時(shí)完成上表面、下表面、厚度的計(jì)量。
適合半導(dǎo)體應(yīng)用的jue對(duì)測(cè)距干涉，量程 > 100 μm 可進(jìn)行臺(tái)階、翹曲度、熱變形的測(cè)量。
出色的動(dòng)態(tài)范圍， 超過(guò)100條干涉條紋, 仍然可以分析。
將 FEA（有限元分析）引入干涉儀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
根據(jù)文獻(xiàn), 干涉計(jì)算對(duì) 0~120 Hz 的振動(dòng)敏感。 因此, 我們將機(jī)械結(jié)構(gòu)的 7 階模態(tài)設(shè)計(jì)到 127 Hz， 大大降低了機(jī)械結(jié)構(gòu)對(duì)振動(dòng)的敏感性
超高重復(fù)精度
對(duì)一片 250mm 直徑的平晶進(jìn)行 1000 次連續(xù)測(cè)量。
PV 值的重復(fù)精度為 5.7 納米 (1/111 λ）
RMS 值的重復(fù)精度為 0.38 納米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,數(shù)據(jù)未經(jīng)人為修改
三維成像原理
面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計(jì)量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技術(shù)原理
選件
VICT High 超高精度 測(cè)量模式
支持到0.1納米 ( 1/6330 λ）RMS重復(fù)精度 和1納米（1/633 λ）PV重復(fù)精度， 對(duì)環(huán)境擾動(dòng)進(jìn)行建模分析, 包括振動(dòng)、氣流、光場(chǎng)在內(nèi)的負(fù)面影響排除。
沒(méi)有使用多次測(cè)量取平均的方法, 不會(huì)導(dǎo)致被測(cè)物面型被“美化" 。
VICT Dop 多普勒抗振動(dòng)測(cè)量模式
非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作，所有模式中zui高的測(cè)量效率， 允許不使用隔振平臺(tái)。
蒙版跟蹤
超分辨三維圖
清潔度分析
基礎(chǔ)配置
| 主機(jī) | 型號(hào) | 測(cè)量尺寸(圓形-直徑)(注1) | 立式使用 | 臥式使用 | |
| Type100 | 102mm | OK | OK | ||
| Type150 | 152.4 mm | OK | OK | ||
| Type250 | 250mm | OK | OK | ||
| Type340 (注2) | 340mm | OK | OK | ||
| Type450 | 457.2 mm | x | OK | ||
| Type600 | 609.6 mm | x | OK | ||
| 注1:在80%直徑以?xún)?nèi)使用時(shí),可以獲得更好的測(cè)量效果。 注2:推薦臥式使用,立式使用時(shí)會(huì)降低精度。 | |||||
| 激光測(cè)距點(diǎn)數(shù) | 標(biāo)準(zhǔn) | 692,224 | |||
| 高清 | 2,663,424 | ||||
| 高速 | 186,623 | ||||
| 超高速 | 692,224 | ||||
| 測(cè)量激光 | 激光器類(lèi)型 | 波長(zhǎng)(nm) | 8h波長(zhǎng)穩(wěn)定度(nm)(注1) | 壽命(h)(注2) | |
| 穩(wěn)定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 | ||
| 穩(wěn)定半導(dǎo)體(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 | ||
| 高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 | ||
| 高效半導(dǎo)體(注4) | 635 | 6 | 5,000 | ||
| 注1:在恒溫,隔振的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試。 注2:由激光器廠家提供的參考?jí)勖?br style="box-sizing: border-box;"/>注3:推薦用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST | |||||
| 計(jì)算機(jī) | CPU | 獨(dú)立顯卡 | 顯示屏 | 操作系統(tǒng) | |||
| Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 | ||||
| 測(cè)量軟件 | Victsir軟件模塊 | 掃描方式 | 單平面干涉(注1) | 雙平面干涉(注2) | |||
| Victsin Static (注3) | 無(wú) | OK | X | ||||
| Victsin PSI | 壓電振鏡 | OK | X | ||||
| Victsin MST | 波長(zhǎng)調(diào)諧 | OK | OK | ||||
| 注1:適用于大部分工件。 注2:通常適用于透明工件,同時(shí)對(duì)上表面,下表面,厚度,進(jìn)行測(cè)量。 注3:基礎(chǔ)版本,不推薦用于高精度測(cè)量。 | |||||||
測(cè)量精度
| jue對(duì)精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
| PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
| RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
| 注1:jue對(duì)精度被定義為"參考鏡的jue對(duì)精度"實(shí)際測(cè)量的jue對(duì)精度=jue對(duì)精度＋重復(fù)精度。 注2:波長(zhǎng)為測(cè)量激光的波長(zhǎng)，例如632.8 nm的測(cè)量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm . 注3:該精度為我們提供的標(biāo)準(zhǔn)平面參考鏡的精度,更高精度需求請(qǐng)聯(lián)系銷(xiāo)售人員。 注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數(shù)值請(qǐng)聯(lián)系銷(xiāo)售人員確認(rèn)。 | |||
| 重復(fù)精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
| PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
| RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
| 注1:實(shí)際精度與測(cè)量環(huán)境有關(guān)，zui高精度與VICT-High相同,表格內(nèi)數(shù)值考慮了輕微的環(huán)境擾動(dòng)。 | |||
PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根據(jù)經(jīng)驗(yàn)RMS值是PV值的1/3左右。因?yàn)橄衿矫孢@類(lèi)的簡(jiǎn)單形狀，大多使用PV值來(lái)表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ時(shí)，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重復(fù)精度定義
連續(xù)100次測(cè)量的允差 (95%置信度)
測(cè)試環(huán)境
樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內(nèi)空調(diào)關(guān)閉，以避免氣流擾動(dòng)。
被測(cè)物
直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性與環(huán)境要求
| 硬件可靠性 | 平均沒(méi)的有.故障工作時(shí)間>1000小時(shí) 平均連續(xù)沒(méi)的有.故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天 | |
| 軟件可靠性 | 平均連續(xù)沒(méi)的有.故障工作時(shí)間>12小時(shí)/天 | |
| 對(duì)準(zhǔn)角度允差 | ± 3° | |
| 光瞳調(diào)焦范圍 | ≥±1.5米 | |
| 運(yùn)輸和貯存 | 溫度 | +10~+40 °c |
| 濕度 | RH≤60% | |
| 工作條件 | 溫度 | +20~+25℃ |
| 溫度變化 | ≤±1℃ @24小時(shí) | |
| 濕度 | RH≤50% | |
| 電壓 | AC 220V,50 Hz,1.5kW | |
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