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一、研究背景光刻機是目前集成電路芯片制造的備工具，照明系統是光刻機的核心分系統之一，為掩模面提供均勻照明、控制曝光劑量并實現不同的照明模式。其中，勻光單元用于實現照明均勻化，其設計直接影響照明系統乃至光刻機的性能。用于光刻機照明系統的勻光元件有積分棒、微透鏡陣列（MLA）、衍射光學元件（DOE）等。由于衍射損耗，DOE的使用僅限于小角度，并降低了傳輸效率，因此不常用于光刻機勻光單元。積分棒結構簡單，加工難度和成本較低，但在小數值孔徑情況下需要非常大的長寬比才能達到較好的勻光效...

1、智能化激光制造裝備1.1光束調控如何獲得高質量、高精度的激光是激光技術基礎研究和應用研究中廣受關注的課題，而人工智能算法正是實現激光光束質量預測和調控的有效手段。針對現有簡單仿真模型對復雜光學系統預測能力不足的問題，哈爾濱工業大學劉國棟團隊將深度神經網絡與Frantz-Nodvik方程相結合，提出了一種優于傳統擬合方法的大功率ICF激光系統中主放大器輸出能量預測新方法（圖1）。國防科技大學周樸團隊不僅利用深度學習技術實現了少模光纖激光器光束傳播因子M2的準確預測，還通過深...

研究背景超短激光脈沖燒蝕具有熱影響區小、精度高等優勢，在透明材料微加工中已得到廣泛研究和應用；基于脈沖序列模式的超短脈沖激光是進一步提高材料去除效率和質量的有效手段。脈沖序列模式的子脈沖重復頻率常為~MHz，通過控制燒蝕與熱積累等效應，顯著提升了燒蝕效率。為了追求更高的加工效率，近年來，重頻GHz的脈沖序列激光燒蝕加工成為研究熱點。GHz子脈沖間隔小于1ns，能夠同時實現對電子動力學過程和能量沉積分布的精密調控，從而實現燒蝕機理和效應的控制和優化。GHz脈沖序列激光微加工研究...

鎖模激光器在很多領域已經獲得了廣泛應用，例如光學頻率梳、精密制造、光纖通信、激光雷達等。鎖模光纖激光器作為一個便捷的桌面化非線性系統，在基礎科學領域也發揮著重要作用，例如鎖模光纖激光器為非線性科學研究提供了理想的平臺。由于鎖模激光器中存在復雜的鎖模區間，如何控制激光器的參數進而訪問特定的鎖模態是一個頗具挑戰性的難題。以常用的基于非線性偏振旋轉鎖模技術的飛秒光纖激光器為例，其在數學上是一個多維參量空間，實驗上需要調諧至少7個參量（泵浦、損耗、色散、非線性和三個波片角度）才能遍歷...

在激光技術日益滲透現代科技各個領域的今天，無論是精準的醫療手術、高效的工業加工，還是高速的光纖通信，其背后都離不開一位至關重要的“幕后指揮官”——激光控制驅動器。它雖不直接發光，卻是決定激光性能、保障安全運行的核心大腦與動力心臟。一、核心作用：精準的能量調控與輸出保障激光控制驅動器本質上是一種為激光器提供精確電流和電壓的電子設備。它的核心使命是確保激光器能夠穩定、高效且安全地輸出符合要求的光束。其首要作用是提供穩定且可精確調節的驅動電流。激光二極管的輸出光功率對驅動電流的變化...

一、背景介紹激光具有亮度高、單色性好、方向性好等優點，經過六十余年的發展，已經廣泛應用于科學研究、醫療衛生、先進制造、**等諸多領域。然而，由于物理、材料、器件、工藝等方面因素的限制，激光系統性能提升面臨的挑戰越來越大；與此同時，科學研究、先進制造、**等應用場景對激光器的性能提出了越來越高的要求，如何進一步優化提升激光性能、實現激光特性的精準調控是亟待解決的問題。得益于人工智能（AI）及相關技術的快速進步，AI技術在激光系統優化設計、光束控制以及特性表征等方面取得了良好的運...

作為一種高性能光源，激光器在工業生產、科學研究中占據著重要的地位，其所產生的激光已經被廣泛應用于加工、測量、通信、醫療等領域。近年來，人們注意到激光器本身也可作為一個有力的計算工具，這是因為：一方面，激光器在混沌振蕩、弛豫振蕩等非穩態過程中的隨機性和非線性可用于完成復雜計算任務；另一方面，在沒有外界干擾的情況下，激光腔內的光場經過模式競爭等物理過程能夠自發演化至一個損耗的穩定振蕩狀態，該振蕩狀態也可映射至一個復雜計算問題的解。隨著光計算領域的蓬勃發展，結合日趨成熟的各類激光產...

在日常生活中，激光技術已經無處不在——從超市掃碼槍到醫療美容，從光纖通信到工業切割。然而，在科研和應用領域，普通激光器的性能還遠遠不夠。想象一下，如果激光的頻率總是飄忽不定，就像唱歌走調的歌手，那么依賴激光進行精密測量的科學家將會多么頭疼。這就是為什么我們需要激光穩頻技術——讓激光的頻率「穩如泰山」。在眾多穩頻技術中，Pound-Drever-Hall（PDH）技術憑借其性能脫穎而出，成為當今主流的激光穩頻方案之一。PDH技術得名于三位物理學大師：Pound、Drever和H...